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紫金山實(shí)驗(yàn)室-競(jìng)價(jià)公告(NCBPMLABS****59)
基本信息
| 申購(gòu)單號(hào)： | NCBPMLABS****59 | 簽約時(shí)間： | 發(fā)布競(jìng)價(jià)結(jié)果后7天內(nèi)簽約合同 |
| 申購(gòu)主題： | SGKY****079-定制磁控濺射鍍膜機(jī)器 | 送貨時(shí)間： | 發(fā)布競(jìng)價(jià)結(jié)果后7天內(nèi)送達(dá) |
| 采購(gòu)單位： | 紫金山實(shí)驗(yàn)室 | 安裝要求： | 免費(fèi)上門安裝（含材料費(fèi)） |
| 報(bào)價(jià)要求： | 國(guó)產(chǎn)含稅 | 收貨地址： | 江蘇省/南京市/江寧區(qū)/**** |
| 發(fā)票類型： | 增值稅專用發(fā)票 | ||
| 幣種： | 人民幣 | ||
| 預(yù)算： | *** | ||
| 付款方式： | 默認(rèn)貨到驗(yàn)收合格后付款，如有異議請(qǐng)備注。 | ||
| 備注說明： | 貨期，質(zhì)保等必要信息請(qǐng)備注。 | ||
采購(gòu)項(xiàng)信息
| 采購(gòu)項(xiàng) | 定制磁控濺射鍍膜機(jī)器 | 技術(shù)參數(shù) | 配置：***.最大可鍍4英寸（Φ100mm）1片或者均布其它規(guī)格小片；基片臺(tái)配擋板、旋轉(zhuǎn)，加熱 3只2inch圓形平面靶，3臺(tái)電源，直流2臺(tái)/射頻1臺(tái) 2.配負(fù)偏壓電源 3.4路工藝氣體 4.PLC手自動(dòng)控制，觸摸屏操作 參數(shù)：***.真空腔室：***Φ550×H500mm，要求前開門，前門需配備觀察窗，觀察窗玻璃尺寸不小于Φ95mm；配至少一套方便拆卸的防污隔板；腔室、法蘭、管道、防污隔板等均采用304無磁不銹鋼材質(zhì)； 2.真空系統(tǒng)：***/h，雙級(jí)旋片泵抽速不小于32m3/h，全量程數(shù)顯復(fù)合真空計(jì)量程：***×105～1×10-5Pa； 3.▲真空極限：***.3×10-7Torr； 4.★抽速：***.7×10-6 Torr≤20min； 5.▲基片臺(tái)：***，最大可處理基片不小于4英寸，基片臺(tái)配一體式全尺寸擋板，擋板開合需要磁流體密封；基片臺(tái)需要設(shè)計(jì)旋轉(zhuǎn)：***-25轉(zhuǎn)/分連續(xù)可調(diào)，基片臺(tái)旋轉(zhuǎn)需要磁流體密封；基片臺(tái)加熱：***，控溫范圍室溫～600℃；配負(fù)偏壓電源一臺(tái)； 6.★陰極靶：***，射頻靶需采用原裝進(jìn)口品牌，靶頭內(nèi)部需采用全金屬密封，不得采用膠圈密封，以滿足超高真空應(yīng)用。靶材安裝不需要固定壓環(huán)，暗區(qū)屏蔽裝置高度低于靶材表面，減少對(duì)輝光區(qū)域的束縛，并降低靶材之外材料被同時(shí)濺射出來的幾率。靶頭可調(diào)整角度不小于±45°，可單靶輪流/多靶聚焦共濺射； 7.濺射電源：***，要求可切換恒壓，恒流，恒功率控制模式，電源功率可以預(yù)先設(shè)置；射頻電源1臺(tái)，要求自動(dòng)匹配； 8.靶擋板：***，角度與靶傾斜角度同步可調(diào)，要求磁流體密封； 9.氣路系統(tǒng)：***，量程范圍需滿足工藝制備金屬、金屬氧化物的需要； 10.操控系統(tǒng)：***+觸摸屏手自一體操控系統(tǒng)，觸摸屏不小于15英寸，真空系統(tǒng)的控制分為手動(dòng)和自動(dòng)二種模式，自動(dòng)模式下，根據(jù)腔內(nèi)壓強(qiáng)自動(dòng)執(zhí)行相關(guān)泵，閥的啟閉；可遠(yuǎn)程監(jiān)控，軟件使用期限：***； 11.其它：***，制冷量不小于1P；鍍膜設(shè)備及外圍設(shè)備（冷水機(jī)等）總占地面積不超過1平米。 |
| 品牌 | 不限，報(bào)價(jià)單位請(qǐng)備注 | 質(zhì)保及售后服務(wù) | 質(zhì)保2年 |
| 型號(hào) | 不限，報(bào)價(jià)單位請(qǐng)備注 | 單項(xiàng)預(yù)算 | |
| 數(shù)量 | 1.0 | 單位 | 套 |
